雖然介質(zhì)薄膜的空位、位錯、裂縫等缺陷以及氧化物、化學計量比偏離、雜質(zhì)等缺陷均多于相應(yīng)的塊狀材料，但介質(zhì)薄膜的介電機理、損耗機理與擊穿機理等仍可用塊狀介質(zhì)材料的相應(yīng)機理表述。
    介質(zhì)薄膜的極化
    當垂直于介質(zhì)薄膜加一電場時，其表面就有感生束縛電荷出現(xiàn)，稱為介質(zhì)薄膜的極化，其實質(zhì)就是介質(zhì)薄膜內(nèi)的原子核、電子云、離子等在電場作用下發(fā)生定向移動和某些具有偶極矩的分子在電場作用下定向排列。常用極化強度尸來表示束縛電荷的多少。